オゾン分解用フィルターAKH
非貴金属系触媒をハニカムに成形したオゾン分解用フィルターです。
ハニカム形状のため低い圧力損失でありながら高いオゾン分解能を有しており、フィルターの設置スペースが限られていたり、ファンの静圧に制約があるときに高い効果を発揮します。
耐熱性が必要な用途には不燃性の焼成タイプが適しています。また、オゾン分解時に触媒が活性化されることを利用して脱臭を行うオゾン脱臭用の触媒としてもご利用いただけます。
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用途
・半導体製造装置や工場から発生する余剰オゾンの除去
・紫外線(UV)ランプから発生する余剰オゾンの除去
・オゾン脱臭用の触媒
仕様
| 種類 | セル数（セル/平方インチ） | 標準寸法（mm） |
|---|---|---|
| AKH | 500 | 130W×65L×50t |
| 26Φ、48Φ、80Φ、100Φ×50t |
※セル数・寸法および形状は別途ご相談に応じます。
※仕様･寸法は予告なく変更する場合があります。
検討条件
選定には下記の条件をご確認の上、ご相談ください。
| 1 | 処理濃度（ppm）または（g/㎥） | 2 | 処理風量（㎥／min） | 3 | 排出濃度（ppm） |
|---|---|---|---|---|---|
| 4 | ガス濃度（℃） | 5 | ガス湿度（%） | 6 | 必要寿命（hr） |
| 7 | 圧力損失（Pa） |
